仪器资讯丨108C 真空镀碳仪 Carbon Coater 108c/Auto
发布日期：2020-08-11
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❂ 108C 真空镀碳仪
108C真空镀碳仪主要适用于扫描电子显微镜（ SEM ）和电子探针等分析表征设备的样品镀碳处理。程序化的蒸发反馈控制技术保证了成膜质量。同时，该产品结构合理紧凑，易于操作，抽放气周期较快。
❂ 产品特性
1、电流、电压检测器和先进的反馈控制技术使得镀碳过程稳定、高效。
2、脉冲、连续模式随意切换。
3、提供“手动”和“自动”两种模式。
❂产品参数
产品参数 | |
腔体尺寸 | Ф150mm×H165mm |
蒸发源 | Ф6.15mm高纯碳棒 |
样品台 | 12插孔，高度30mm可调真 |
空度大气 | -0.01mb |
工作电流 | 0-200A |
| 108系列真空泵技术参数表 | |
配置构型 | 高速；直接驱动；两级 |
转速 | 2.5m³/hr@ 50Hz |
极限真空 | 6×10-3 mbar |
额定功率 | 150 W @ 50 Hz |
法兰连接 | NW/KF 16 (Intake and Exhaust) |
填充油量 | 0.4 ltr |
泵油类型 | Pfeiffer P3 |
额定电压 | 220-240V (specify on order) |
❂ MTM-10高分辨膜厚检控仪 （ 选配 ）
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